近日,金鉬集團技術中心科研團隊經(jīng)過一年多不懈的努力探索,攻克了二硫化鉬靶材制備的關鍵技術,成功制備出了長度可達1米以上的大規(guī)格二硫化鉬靶材。目前該靶材已交付客戶進行實質性質量認證。
二硫化鉬具有六方層狀的晶體結構,層間以弱的范德瓦爾斯力結合,剪切強度低,被譽為“固體潤滑之王”,廣泛應用于宇航工程、機械工業(yè)制造、電子等方面。二硫化鉬是繼石墨烯后,備受國際科學家關注的層狀材料,單層二硫化鉬具有良好發(fā)光效率,極佳電子遷移率(可快速反應)與高開關比(電晶體較穩(wěn)定),可用于未來新型低耗能邏輯電路,極有可能取代目前硅晶做下一代主要核心元件。
二硫化鉬靶材主要用于航天航空及電子等領域制備二硫化鉬薄膜產(chǎn)品來實現(xiàn)二硫化鉬各項優(yōu)異性能。二硫化鉬與石墨性質類似,成型相對困難,制備大規(guī)格產(chǎn)品難度更大,需要突破產(chǎn)品本身規(guī)格制備及背板綁定兩項主要技術。項目人員經(jīng)過不斷試驗、討論、分析,調整工藝路線、試驗各項參數(shù),最終攻克了二硫化鉬靶材制備及銅背板綁定技術,成功制備出了長度可達1米以上的大規(guī)格二硫化鉬靶材并交付客戶開始進行實質性質量認證。該項技術目前處于國內(nèi)領先水平,科研團隊已申請了“一種制備二硫化鉬靶材的方法”、“一種二硫化鉬濺射靶材的制備方法”等4項發(fā)明專利,其中3項已獲授權。
大規(guī)格二硫化鉬靶材的成功制備及客戶的交付認證,標志著公司又一二硫化鉬新產(chǎn)品取得重大突破,同時也為后續(xù)大規(guī)格二硫化鉬靶材實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化奠定良好的基礎。
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